Abstract FR:

Les phases oxynitrures cdgeon, de structure tetraedrique, sont des semi-conducteurs de type n. Ces materiaux sont de bons candidats pour la detection de certains gaz dans l'air, et en particulier, pour la detection des especes soufrees. Ces oxynitrures sont obtenus sous forme pulverulente, puis caracterises et optimises pour affiner les proprietes de detection. Les poudres sont mises en forme en utilisant la technologie micro-electronique hybride couches epaisses. Des etudes detaillees du comportement du materiau sensible sous hydrogene sulfure et des reponses electriques des couches sous air et sous differents polluants ont ete realisees. Elles permettent de definir le comportement general de cdgeon utilise comme couche sensible pour capteur de gaz. En collaboration avec quatre partenaires, nous avons concu un prototype industriel de capteur de gaz associant tete de mesure, regulation thermique et interface-utilisateur.