Abstract FR:

Une methode d'analyse chimique des materiaux semi-conducteurs et des couches minces destines a la fabrication de composants electroniques ou optoelectroniques a ete developpee. Cette technique qui fait appel a la spectrometrie de masse par ionisation resonante a permis non seulement de lever certaines ambiguites de l'analyse classique en masse des ions secondaires, mais permet surtout une approche plus quantitative des mesures