Abstract FR:

Ce travail fait la synthese d'experiences sur la nitruration thermique sous ammoniac de couches d'oxyde de silicium epaisses. Cette etude a ete menee en fonction de la temperature et de la duree du traitement des recuits ainsi qu'en fonction de la pression partielle de l'ammnoniac. Les profils d'azote dans l'epaisseur des couches nitrurees ont ete determines par la methode sims. Sur le plan theorique, le mecanisme de la nitruration est interprete comme etant le resultat de la diffusion interstitielle des molecules d'ammoniac et de leurs reactions chimiques avec le reseau de silice