Abstract FR:

Ce travail rend tout d'abord compte de la synthese et de l'etude de plusieurs composes monometalliques du titane, du vanadium et du zirconium, et surtout de celle des premiers exemples de composes heterobimetalliques organometalliques zirconium-vanadium. Ces composes resultent de l'addition oxydante du vanadocene sur les ligands alcynes de composes dicyclopentadienyles du zirconium. Les composes pour lesquels les ligands cyclopentadienyles de l'atome de zirconium sont porteurs d'un groupement methyle, tertiobutyle et trimethylsilyle ont ete etudies par diffraction des rayons x. L'arrangement structural des molecules, qui avait ete ebauche par analyse infrarouge, raman, et par magnetisme, a montre des caracteristiques singulieres : les entites dicyclopentadienylzirconium et vanadium sont liees de part et d'autre de l'enchainement carbone d'une entite diphenylbutadiene dans laquelle les carbones internes sont tetracoordines plans. Le travail aborde ensuite l'utilisation de certains des composes precedents et en particulier ceux du titane et du vanadium comme precurseurs pour l'elaboration de films ceramiques de type carbure, nitrure et/ou siliciure par depot chimique en phase vapeur (cvd). L'etude d'un precurseur comprend sa conception, sa synthese, sa caracterisation, l'etude de son comportement thermique par analyse thermogravimetrique couplee a la spectrometrie de masse, les premiers essais de decomposition par cvd, et l'analyse des depots obtenus par les techniques d'analyse des surfaces comme la microscopie electronique a balayage, et la spectroscopie d'electrons pour l'analyse chimique (esca). Ce type d'etude est detaille dans le cas du compose bis(trimethylsilyl)aminodichlorocyclopentadienyltitane qui est utilise comme precurseur de carbonitrure de titane. Par ailleurs, des depots de siliciure de titane issus de la decomposition d'un metallacycle sont decrits et l'influence de l'etat de surface du substrat est etudiee dans le cas de l'utilisation d'aciers recouverts d'une couche de conversion.