Abstract FR:

Ce travail est consacré à la croissance de films minces de nitrures d'aluminium par ablation laser réactive. Cette méthode, largement utilisée pour la croissance de couches minces d'oxydes, présente des difficultés pour la formation d'autres composés tels que les nitrures. La réactivité de l'azote étant plus faible que celle de l'oxygène, il y aura toujours compétition entre l'oxydation et la nitruration.