Abstract FR:

Nous avons utilise une methode de simulation du type monte-carlo pour reproduire le caractere aleatoire des phenomenes physiques. Ces simulations ont permis de determiner, pour differents materiaux (si, ag,au), la distributimon spectrale des electrons auger. La resolution spatiale d'analyse a ete calculee sur la base d'un critere objectif derive du critere de rayleigh et interpretee d'un point de vue experimental. Les resultats experimentaux obtenus confirment les etudes theoriques realisees. Nous nous sommes attaches a faire la liaison avec les simulations et a developper une methode d'analyse auger sur lames minces. Cette derniere permet de correler les analyses chimiques aux observations faites en microscopie electronique a balayage par transmission