Abstract FR:

Connaissances theoriques actuelles applicables au plasma particulier de la decharge luminescente. Etude du mecanisme d'abrasion. Relation entre les parametres fondamentaux de la decharge, intensite du courant, tension d'utilisation, pression du gaz. Estimation de la contribution au rendement de pulverisation des ions et des atomes neutres rapides (produits par echange de charge) en evaluant leur distribution energetique a la cathode. Calcul du rendement theorique de pulverisation de plusieurs materiaux purs. On met en evidence le role des atomes neutres d'argon et de la temperature sur le rendement de pulverisation