Abstract FR:

Le travail presente comporte une etude theorique et experimentale de la mesure de potentiel sous faisceau d'electrons a travers les couches isolantes, par la technique du couplage capacitif. Une extension du "mode image" (releve qualitatif) au "mode mesure" (releve quantitatif) est presentee. Les phenomenes de charge des isolants et d'etalement de potentiel entre pistes metalliques sont analyses, et leur impact sur les performances est evalue, a la fois par mesure directe et par simulations numeriques en deux dimensions