Abstract FR:

Influence des parametres du plasma sur la nature et la morphologie des couches ainsi que sur les cinetiques de croissance dans le cas des plasmas n#2, nh#3 et ch#4. On montre par analyse par microscopie electronique a balayages et par spectrometrie de masse d'ions secondaires que les couches de nitrures et de carbures sont homogenes et uniformes. Proposition d'un mecanisme de nitruration par plasma h. F.