Abstract FR:

Apres une breve presentation des divers dispositifs utilises pour la generation des plasmas, deux methodes permettant la determination des parametres d'un applicateur micro-ondes sont presentees. Le chapitre iii est consacre a l'etude des generateurs utilises en hyperfrequences. Les caracteristiques de divers types de filtrage sont decrites et un systeme est modelise. La suite du chapitre est consacree a l'etude d'une alimentation originale et a la realisation pratique du generateur etudie. Le chapitre iv presente l'etude de l'applicateur micro-ondes realise pour la generation des plasmas. Un dispositif d'adaptation automatique au generateur est realise. Le dispositif informatise permet aussi le controle et la gestion des principaux parametres (, , ne. . . ). Le chapitre v est consacre aux resultats experimentaux. Des exemples de traitement de surface de films de polypropylene et de polyethylene sont exposes et les resultats analyses par diverses techniques