thesis

Etude de procédés plasma basse énergie pour la préparation de surface de silicium et le dépôt chimique en phase vapeur d'hétérostructures Si/SiGe

Defense date:

Jan. 1, 2006

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Institution:

Aix-Marseille 2

Disciplines:

Materials science and engineering

Authors:

Directors:

Abstract EN:

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Abstract FR:

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