Abstract FR:

Les couches minces d'oxyde de titane ont de nombreuses applications optiques dans le cadre des multicouches dielectriques (filtres, miroirs. . . ). Les couches d'oxyde de titane observees ont ete fabriquees isolement, mais dans les conditions utilisees pour la realisation des multicouches. Nous avons etudie ici les variations de la morphologie, de la cristallinite et de la rugosite de ces couches, en fonction de l'epaisseur et de la temperature du support au cours du depot. Ces couches presentent une structure en colonnes avec une double pseudo-periode, une rugosite importante, et une anisotropie non negligeable. Ces caracteristiques ont ete reliees a differents modeles de croissance existants