Abstract FR:

Dans cette etude, nous avons analyse d'une part les contraintes residuelles et la microstructure de quatre systemes de multicouches (au/ni, nife/ag, au/pt et pt/au) elabores par pvd en utilisant un ensemble de techniques complementaires : la diffraction des rayons x symetrique et asymetrique, la spectroscopie d'absorption x et la spectroscopie mecanique (lame vibrante). D'autre part, nous avons mis au point une methode associant la diffraction des rayons x et un dispositif de traction in situ pour determiner le coefficient de poisson dans de tels systemes. Les principaux resultats obtenus sont : - la presence de l'effet de modulation en diffraction asymetrique dans les systemes au/pt et pt/au. Ce phenomene persiste jusqu'a 30 degres d'ecart du vecteur de diffraction par rapport a la normale a la surface de l'echantillon. Un modele fonde sur l'empilement coherent des plans cristallographiques dans toutes les colonnes, a ete propose pour expliquer ce phenomene. - la grande difference entre la taille des domaines coherents de diffraction suivant la normale a l'echantillon et celle de la periode - la grande difference entre la microstructure de l'ensemble de ces multicouches et celle des massifs. - la presence de contraintes residuelles coherentes avec les modeles simples utilises dans le cas des films minces. - la possibilite de mesurer de facon precise, le coefficient de poisson dans ces systemes. L'ensemble des ces resultats montre la richesse des systemes multicouches deposes par pvd et la variete des phenomenes originaux qui s'y produisent, ouvrent la voie a de nouveaux champs d'investigation scientifique et a de nouvelles applications industrielles.