thesis
Synthèse et propriétés de films minces de carbure de silicium : application de la méthode de mixage ionique dynamique
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Abstract FR:
Le but de ce travail a ete la synthese et l'etude des proprietes mecaniques superficielles des couches minces de carbure de silicium elaborees par melange ionique dynamique. Dans un premier temps nous avons examine l'influence du melange ionique et de la temperature du depot sur la microstructure des revetements de sic. Dans un deuxieme temps nous avons etudie les proprietes mecaniques (usure, durete et adherence) d'une couche de 0,5 m d'epaisseur deposee sur un substrat de ta6v. Finalement, nous avons demontre la possibilite de formation de b-sic a 800c par melange ionique des multicouches de si/c