thesis

Sonde nanométrique d'ions réactifs

Defense date:

Jan. 1, 2008

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Institution:

Aix-Marseille 2

Disciplines:

Materials science and engineering

Authors:

Directors:

Abstract EN:

The work performed during this thesis includes implementation and characterization of a point source of reactive ions for FIB and SIMS systems. This new ion source named MiLICIS (Microscopic Liaquid Ionic Compoud Ion Sourse), combines high brightness with the possibility of emitting reactive ion spies such as cesium. [. . . ]

Abstract FR:

Cette thèse présente la réalisation et la caractérisation d'une source ponctuelle d'ions réactifs destinée aux systèmes FIB et SIMS. Cette nouvelle source nommée MiMICIS (Microscopic Liquid Ionic Compoud Ion Source) associe une brillance élevée et la possibilité d'émettre des espèces ioniques réactives. Le MiLICIS utilise pour matériau ionisable un mélange de sels fondus. [. . . ]