Abstract FR:

Determination des conditions pour obtenir des couches de titane de structure hexagonale et du nitrure de titane stoechiometrique cubique a face centrees. Analyse de la structure de ces couches obtenues dans differentes conditions par pulverisation cathodique magnetron en radiofrequence et par triode. Comparaison avec la structure cristalline theorique. Etude de l'adhesion de ces films sur differents supports (mo, ta, cu et nacl) par la methode de rayure. Determination des forces d'adhesion. Analyse de la correlation entre la structure et l'adhesion en relation avec les conditions experimentales