Abstract FR:

Des films supraconducteurs a haute temperature critique yba2cu3o7x ont ete elabores par depot chimique en phase vapeur a partir de tetramethylheptanedionates (thd) d'yttrium, de baryum et de cuivre, dans un reacteur horizontal a mur froid, sous basse pression, sur des substrats polycristallins de zircone stabilisee a l'yttrium. Ces couches, epaisses de 1 micrometre environ, ont ete obtenues dans des conditions de debits et de temperatures etablies par plan d'experience. Elles ont ete caracterisees par diffraction x, microscopie electronique en transmission et mesure de la resistance electrique. Les precurseurs ont ete prepares et caracterises au laboratoire. Celui du baryum, ba(thd)2(ch3oh), est un compose original, amorphe, issu de la demethanolation d'un compose egalement original, ba(thd)2(ch3oh)3. Ch3oh, dont la structure cristalline a ete determinee. Cependant, comme le produit commercial ba5(thd)9(h2o)3(oh) qu'il etait sense remplacer, ce nouveau precurseur se degrade lentement et perd sa volatilite lorsqu'il est chauffe. Il en resulte que le depot final n'est pas homogene. Une maniere d'y remedier consiste a mesurer en continu la composition de la phase vapeur et a assujettir a cette mesure une regulation des debits partiels de maniere a accompagner toute baisse de la teneur en baryum d'une baisse adaptee des teneurs en cuivre et yttrium. Au cours de ce travail, la faisabilite de cette mesure a ete etablie par l'emploi d'un spectrometre de masse branche sur le reacteur et l'examen critique des fragments fournis par chaque precurseur. La structure cristalline et l'analyse thermique d'un eventuel nouveau precurseur de cuivre, cu#2(thd)#2(mu-meoh)#2, completent ce travail