thesis

Elaboration de couches minces de germanium et d'alliages germanium-carbone par décomposition thermique de molécules organogermaniées

Defense date:

Jan. 1, 1986

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Institution:

Toulouse, INPT

Directors:

Abstract EN:

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Abstract FR:

Utilisation de la technique du depot chimique en phase vapeur dans un reacteur a mur froid, sur des supports silice, silicium et bromure de potassium. Etude du comportement thermique des quatre precurseurs organogermanies utilises. Caracterisation des couches par diffraction des electrons en incidence rasante. Spectroscopie raman et microscopie electronique a balayage