Conception intégrée de micro systèmes électro-mécaniques
Institution:
Grenoble INPGDisciplines:
Directors:
Abstract EN:
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Abstract FR:
Les Microsystèmes électro-mécaniques (souvent appelés MEMS) sont des produits issus d'une technologie actuellement en plein essort. L'influence de la technologie sur le développement de ces produits est fondamental. Une caractérisation des MEMS est donnée, dans le domaine des microproduits, après une analyse des applications et des procédés de fabrication (miniaturisés à partir des procédés de génie mécaniques, ou adaptés des procédés de l'ingénierie du silicium et de la microéléctronique). Cette caractérisation permet de proposer une description du processus de développement d'un MEMS tel qu'il a été observé dans l'industrie. Ce processus apparait comme séquentiel et fortement basé sur les connaissances technologiques des moyens de production. Certaines parties non optimales de ce processus sont soulignées. Des solutions d'améliorations, basées sur les modes de représentation et sur la gestion des connaissances scientifiques et d'ingénierie, sont proposées.