Abstract FR:

Les filtres à ondes élastiques de surface constituent un étage fondamental de l'éléctronique de filtrage des systèmes de télécommunication portables. L'ensemble des travaux réalisés au cours de cette thèse est dédié à l'analyse théorique et expérimentale des ondes de surface de Rayleigh sur quartz, langasite et phosphate de gallium. L'etude théorique a porté dans un premier temps sur le calcul des paramètres caractéristiques des ondes de Rayleigh : vitesse, couplage, électromécanique, coefficient de réflexion et coefficients de température. L'analyse de ces résultats a permis de mettre en évidence l'existence de coupes cristallines dont les caractéristiques étaient plus intéressantes que celles de la coupe ST du quartz. On a dans un deuxièmes temps développé une méthode de calcul de l'influence des paramètres technologiques tels que la hauteur et le rapport cyclique des métallisations sur les effets thermiques d'un dispositif à ondes de surface. L'étude expérimentale réalisée sur quartz, langasite et phosphate de gallium a consisté au LPMO à mesurer les vitesses et les coefficients de température de la fréquence pour de nombreuses orientations. Nous avons notamment pu valider le travail théorique original de modélisation de l'influence de l'épaisseur relative de métal sur le coefficient de température de la fréquence du premier ordre dans le cas du quartz recouvert d'un film mince d'aluminium. Les expériences réalisées sur langasite ont permis de confirmer l'intérêt de certaines orientations pour une application de type filtre moyenne bande. On a mesuré une compensation en température relativementstable vis-à-vis de l'angle de propagation et de l'un des angles de coupe. Dans le cas du phosphate de gallium, dans l'état actuel des mesures, on ne peut qu'affirmer l'existence en simple rotation d'une coupe compensée des effets thermiques statiques.