Abstract FR:

L'objectif de ce travail etait de concevoir et realiser un reacteur destine a etudier par spectroscopie raman spontanee la phase gazeuse dans le procede de depot chimique en phase vapeur. L'etude a porte sur le choix d'un type de reacteur, la selection d'une configuration de fonctionnement grace a la simulation numerique du procede, la realisation et la mise en uvre de ce reacteur en relation avec le dispositif de spectroscopie raman. Le modele a ete valide sur le plan des ecoulements par visualisation des lignes de courant grace a la tomographie laser. Un reacteur dit sans parois dans lequel le melange reactif est chauffe par melange avec un gaz non reactif porte a haute temperature, en evitant tout contact avec une paroi a ainsi ete construit. Les differentes methodes permettant de mesurer localement la temperature du gaz ainsi que les concentrations des molecules par spectroscopie raman sont presentees. Pour chacune de ces mesures la methode la plus appropriee a ete appliquee a l'etude du melange reactif tic1#4+nh#3. Les poudres qui sont formees par nucleation en phase homogene a partir de ce melange tres reactif des la temperature ambiante ont egalement ete etudiees