Abstract FR:

Cette thèse concerne l'étude, le développement et la mise en uvre des lois de commande adaptatives multivariable et leur application aux procèdes de traitement thermique rapide. Les techniques de traitement thermique rapide constituent les méthodes les plus en pointe pour les procèdes thermiques lies a la fabrication des circuits intègres. La qualité du produit dépend de deux facteurs: le suivi correct des profils de température imposes et l'homogeneite thermique de la plaquette traitée. Une solution est apportée par l'utilisation de lois de commande multivariable dans un environnement adaptatif. Dans ce travail, sont traites, différents types de lois de commande prédictives et les aspects numériques de leur mise en uvre. L'identification paramétrique de systèmes variant dans le temps est également abordée. Ces schémas de commande adaptative indirecte ont nécessite l'élaboration d'un certain nombre d'ingrédients pour assurer le bon fonctionnement de l'ensemble commande estimation. Cet ensemble d'ingrédients constitue une supervision de la loi de commande adaptative. Les résultats expérimentaux présentes dans ce travail, montrent que l'utilisation des techniques de commande adaptative multivariable apporte une solution aux problèmes de la commande de la température des procèdes thermiques rapides. Ils ouvrent une nouvelle perspective pour la résolution de ces problèmes