Abstract FR:

Le travail présente dans cette thèse concerne l'étude, la modélisation et la réalisation de moteurs électriques, de taille micrométrique, usines sur du silicium. La première partie est consacrée a l'étude comparative des performances des actionneurs de type électrique et de type magnétique en fonction de leurs dimensions. Des résultats numériques, permettent d'établir l'intérêt des moteurs de type électrique pour les très petites dimensions (entrefer de 1 a 5 micromètres). Enfin, les principes de fonctionnement des moteurs de type électrique, a capacités variables, sont exposes. La deuxième partie est consacrée a l'élaboration d'un modèle numérique du comportement statique de ces moteurs. Ce modèle, base sur le calcul numérique du champ électrique, permet d'analyser plusieurs structures de moteurs et de dégager quelques règles de conceptions. La troisième partie concerne la mise au point d'un modèle dynamique de micromoteurs a capacité variable. Ce modèle, tenant compte des frottements secs et visqueux dans la structure, permet de déterminer les performances dynamiques de deux types de micromoteurs. Dans la quatrième partie, nous décrivons la méthode de fabrication utilisée pour la réalisation d'un prototype ainsi que les tests pratiques effectues