Abstract FR:

Le travail présenté dans cette thèse concerne la conception et le développement d'un actionneur de taille microscopique fabriqué à base de silicium. La première partie de l'étude est consacrée au choix de la structure du moteur, de l'alimentation et des processus de fabrication. Dans la première partie, nous développons un modèle analytique qui permet d'évaluer le couple statique par phase développé par un moteur rotatif. L'utilisation de ce modèle est généralisée à tout type de structure et d'alimentation. La troisième partie traite de l'utilisation combinée du modèle analytique et d'un modèle numérique par éléments finis pour optimiser les dimensions des structures 3/1 et 3/2. Ces deux structures sont comparées et un choix de structure est fait en vue de la réalisation du prototype et du banc d'essais. Enfin, dans la cinquième partie, la définition d'un modèle électromécanique du moteur est donné en tenant compte de trois degrés de libertés (2 en translation et 1 en rotation).