Abstract FR:

La structure etudiee est un condensateur variable dont l'element sensible est une fine membrane de silicium, de forme carree ou rectangulaire encastree sur ses bords. La reponse a la pression est etablie a partir d'un modele semi-analytique approche, dans l'hypothese des faibles deformations et en prenant en compte les proprietes anisotropiques du silicium