Abstract FR:

Ce travail porte sur l'étude de résonateurs coplanaires supraconducteurs et de transistors en basses températures en vue de réaliser des dispositifs microélectroniques. Nous présentons, tout d'abord, les techniques nécessaires à la réalisation de nos dispositifs. Ensuite, les aspects théoriques des structures coplanaires classiques et à ondes ralenties sont abordés et confrontés aux résultats expérimentaux obtenus sur des dispositifs en or. Après une optimisation expérimentale réalisée à l'aide de dispositifs en or sur alumine, nous présentons les résultats obtenus sur des résonateurs coplanaires supraconducteurs à base de films ybacuo déposés sur mgo. Ces résonateurs sont au niveau de l'état de l'art en terme de coefficient de qualité à vide à 77 k. Par ailleurs, nous avons caractérisé en statique et en microondes différents types de transistors (hemt, higfet, mesfet, bipolaire) afin de sélectionner les transistors susceptibles d'être utilisés aux basses températures. Finalement un premier prototype d'oscillateur cryogénique en technologie mixte bipolaire/supraconducteur a été réalisé à 5. 7 ghz et 70 k.