Abstract FR:

La formidable evolution de l'electronique, au cours de ces dernieres annees, se poursuit par une course vers l'integration, reculant les limites du nombre de fonctions integrees, et de la vitesse de fonctionnement des circuits electroniques. Le recuit du silicium est un des points cles de cette evolution, et la maitrise de la qualite et de la duree de ce procede technologique un enjeu strategique. Dans ce contexte, nous proposons un nouveau procede de recuit utilisant l'energie microonde. Le comportement metallique du silicium a hautes temperatures, mis en evidence dans cet ouvrage, rend delicat l'utilisation de cette energie. Nous montrons pourquoi un systeme d'adaptation est indispensable, et surtout comment le realiser. Par une modelisation numerique de l'evolution de la temperature au sein de l'echantillon nous apprehendons les dimensions de l'applicateur microonde necessaire a la mise en oeuvre de ce procede. Cette approche theorique est completee par la realisation pratique d'un applicateur microonde, les resultats experimentaux corroborent les resultats de notre etude theorique, et demontrent l'interet de notre procede. Au total, pour une qualite et un temps de traitement comparable aux procedes anterieurs les plus performants, le cout energetique est moindre. Nous parvenons non seulement a des recuits de qualite, mais nous montrons aussi que par un chauffage microonde nous pourrions ameliorer la realisation des substrats simox