Alimentation du magnétron à haute stabilité et application à l'excitation de plasmas pour la génération de rayonnement ultraviolet
Institution:
Toulouse, INPTDisciplines:
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Abstract EN:
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Abstract FR:
Cette etude decrit la combinaison de differentes disciplines qui ont permis le developpement d'un generateur micro-ondes a puissance reglable et a frequence stable, utilise pour l'excitation d'un plasma de vapeur de mercure et la production de rayonnement uv. Les convertisseurs a resonance sont le sujet de nombreuses recherches. Nous avons utilise comme alimentation du magnetron, un convertisseur a resonance serie, qui fonctionne comme une source avec une limitation naturelle de courant pour assurer la protection du magnetron. La puissance micro-onde est reglable par variation de frequence. La mise en uvre experimentale de ce principe a ete realisee, ainsi que le developpement de plusieurs circuits pour la detection de puissance et de frequence, permettant ainsi l'asservissement et fonctionnement performant du generateur. Pour la conversion et transfert optimaux d'energie de la source a la charge, nous avons concu une cavite resonnante speciale qui permet l'emission de rayonnement uv tout en evitant les fuites d'energie micro-onde. Enfin, ce travail demontre les avantages de la generation de rayonnement uv par decharge micro-onde par rapport aux autres methodes plus conventionnelles