Contribution à l'étude des paramètres technologiques et du modèle de transistor bi-polaire : application au contrôle du procédé de fabrication et à la conception des circuits intégrés
Institution:
Bordeaux 1Disciplines:
Directors:
Abstract EN:
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Abstract FR:
La densite d'integration croissante et le perfectionnement des logiciels de conception assistee par ordinateur permettent de realiser des circuits de plus en plus complexes. Pour obtenir des circuits fiables et conformes a des specifications, on distingue en microelectronique deux etapes essentielles : la fabrication et la conception. Ces deux etapes sont de plus en plus assujetties a des objectifs de rendement, de rapidite de mise en uvre, de qualite, de fiabilite et de cout d'execution. Le premier axe de recherche est oriente vers la maitrise et la diminution des fluctuations technologiques. Dans ce cadre, nous proposons une methodologie originale permettant de mettre en evidence les etapes critiques de fabrication. Cette methodologie se decompose en trois temps. Dans un premier temps, les parametres electriques sont relies aux donnees technologiques grace a une etude theorique, ensuite une etude des correlations entre les parametres electriques est menee. Enfin, le recoupement des informations issues des deux points precedents permet d'isoler l'etape critique qui engendre le plus de fluctuations. Nous proposons un logiciel mettant en pratique cette methodologie. Le deuxieme axe de recherche est oriente vers l'estimation des fluctuations des performances des circuits. Nous proposons une etude experimentale de methodes statistiques permettant de construire une base de donnees reduite, representative de la distribution des parametres electriques. Nous avons etabli des criteres d'evaluation permettant d'isoler la meilleure base de donnees reduite qui fournit le pire cas, le meilleur cas et la distribution des performances. L'originalite de cette etude reside dans son approche experimentale appliquee a la conception des circuits electriques dans toute son etendue. Pour mener a bien cette etude nous avons defini des circuits dans les domaines analogiques, numeriques et mixtes et realise chaque circuit electrique selon deux architectures differentes.