thesis

Etude fondamentale et appliquée des mecanismes de transport en Pulverisation Cathodique Magnétron

Defense date:

Jan. 1, 1990

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Institution:

Limoges

Disciplines:

Electrical engineering

Authors:

Directors:

Abstract EN:

This study deals with the transport mechanisms of sputtered atoms in Magnetron Cathodic Sputtering

Abstract FR:

L'étude théorique et appliquée des mécanismes de transport des atomes pulvérisés dans les dispositifs de pulvérisation cathodique magnétron fait l'objet de ce mémoire