Contribution au développement d'un isolateur coplanaire passif en couche mince magnétique
Institution:
Saint-EtienneDisciplines:
Directors:
Abstract EN:
The integration of passive components is a deciding factor for the realization of high frequency electronics systems. Under these conditions, the miniaturization or the integration of functionalities which can be supported by traditional electronics, constitutes a major focus for the future generations of components and systems. This comment applies particularly to the field of telecommunications where increasingly higher informations flows and performances are considered to meet the new needs of the industrial users and general public. The objective of this thesis is to show the feasibility and the integrability of a passive coplanar isolator with thin magnetic films. First of all, a bibliography concerning passive components is established in order to highlight the coplanar structure as the configuration the most easily integrable. After that, the selected component was isolator because this component is the easiest to realize. The second part of this memory describes the elaboration and the characterization of barium ferrite thin films deposited by radio frequency sputtering. The last part relates the realization and the characterization of coplanar isolator demonstrators. Prototypes were elaborated according to two geometries. The first configuration consists to deposit conductors films on the magnetic films whereas in the second configuration, the magnetic material remains only in the slots between the conductors
Abstract FR:
L'intégration de composants passifs est un élément décisif pour la réalisation de systèmes électroniques hautes fréquences. Dans ces conditions, la miniaturisation ou l'intégration de fonctionnalités qui ne peuvent pas être supportées par l'électronique classique, constitue un objectif majeur pour les générations futures de composants et systèmes. Cette remarque s'applique tout particulièrement au domaine des télécommunications où sont envisagés des débits d'informations et de performances toujours plus élevés pour répondre aux nouveaux besoins des utilisateurs industriels et du grand public. L'objectif de cette thèse est de montrer la faisabilité et l'intégrabilité d'un isolateur coplanaire passif à base de couches minces magnétiques. Tout d'abord un état de l'art concernant les composants passifs est établi afin de mettre en évidence la structure coplanaire comme configuration la plus facilement intégrable. Par la suite, le composant choisi est l'isolateur car c'est le composant le plus facile à réaliser. Dans la deuxième partie de ce mémoire est décrit l'élaboration et la caractérisation des couches minces d'hexaferrite de baryum déposées par pulvérisation cathodique radio fréquence. La dernière partie de ce mémoire concerne la réalisation et la caractérisation des démonstrateurs isolateurs coplanaires. Des prototypes ont été réalisés suivant deux géométries. La première configuration consiste à déposer les conducteurs sur la couche magnétique tandis que pour la deuxième configuration, le matériau magnétique ne subsiste que dans les fentes entre les conducteurs.