Abstract FR:

Etude et realisation d'un systeme automatique de caracterisation de puces test destinees a controler les diverses etapes de fabrication des plaquettes de circuits integres. Ce systeme est pilote par un microordinateur a l'aide de logiciels qui permettent de determiner la distribution (cartographies) et les statistiques (histogrammes, camemberts) des grandeurs fondamentales (epaisseur d'oxyde, tension de seuil; tension de bandes plantes, dopage, tension de seuil, tension de bandes plates, dopage, mobilite, duree de vie, vitesse de generation interfaciale qui interviennent dans les composants electroniques constituant les circuits integres. Ce travail a necessite l'etude et la realisation de cartes electroniques d'interface microordinateur/station sous pointes, et de logiciels permettant d'acquerir les mesures, de les traiter, de sauvegarder les grandeurs fondamentales et de respecter les resultats sous forme de cartographies, d'histogrammes ou de camemberts