Abstract FR:

Cette thèse traite de la conception, de la fabrication et de la caractérisation d'une nouvelles architecture de microcommutateur :MEMS RF pour des applications de puissance. En effet, les composants proposés dans la littérature ne permettent pas de supporter des signaux radiofréquence de puissance. Après l'étude des limitations des solutions dites classiques, une nouvelle approche utilisant un assemblage de trois substrats micro usinés est présentée et étudiée, dont le but est de commuter des signaux hyperfréquences d'une puissance de 10W dans la bande 20MHz-2GHz. Après de nombreux compromis issus de contraintes mécaniques, thermique, hyperfréquences et thechnologique, le procédé de fabrication ainsi que les résultats obtenus sont présentés. Cette étude montre ainsi un premier démonstrateur de commutateur ohmique pour des application RF de forte puissance affiche plus de 40dB d'isolation à 2GHZ et 30dB à 20GHz pour des tensions de commande entre 30 et 60V suivant la conception mais de fortes pertes d'insertions liées au procédé technologique sont à déplorer.