Abstract FR:

L'etude proposee s'interesse a l'amelioration des procedes de la technologie microeleectronique couches epaisses. Encres resistives nous proposons un logiciel qui fournit la cartographie thermique sur le substrat d'alumine en fonction de la geometrie et des coordonnees des resistances serigraphiees puis assure le placement automatique optimal des elements dissipatifs. Encres dielectriques pour la realisation des condensateurs, nous avons mis en evidence les proprietes (permittivite efficace, densification ou porosite) des interfaces creees entre le metal de l'armature, le dielectrique et un troisieme materiau isolant (servant a separer les condensateurs des autres niveaux de serigraphie) a l'aide de nombreux protocoles experimentaux concernant le choix des materiaux, les modes de cuisson, l'utilisation d'electrodes grille. Nous realisons des condensateurs integres miniaturises de meilleure qualite que les condensateurs cms. L'utilisation du couple metal/dielectrique sous forme de ligne microruban permet de caracteriser ces encres jusqu'a 2 ghz. Encres conductrices dans les gammes vhf - uhf nous avons construit une ligne a retard (ligne microruban en grecque sur substrat d'alumine) et teste l'attenuation generee par les proprietes de conductivite de l'encre metallique. A cette frequence apparait une bande attenuee. Nous proposons une modelisation de ce phenomene sur la base du couplage resonnant des bras paralleles de la ligne repliee aboutissant a la conception de filtres passe bas presentant une bande de transition a pente tres elevee