Apport des sources liquide-métal Ga+ à l'émission par effet de champ en microélectronique polymère
Institution:
LimogesDisciplines:
Directors:
Abstract EN:
Pas de résumé disponible.
Abstract FR:
A partir de considerations, numeriques et experimentales, nous avons montre que l'utilisation de forts debits de fluence en ions de moyenne energie dans les polymeres entraine la creation de defauts propices a une conduction de type p de valeur elevee. Des forts debits de fluence (10#1#7 ions/cm#2#. S) peuvent etre obtenus, a partir d'une source liquide-metal au gallium a faisceau focalise. Nous avons procede, a l'etude et a la fabrication de ces sources, ainsi qu'au calcul et a la realisation d'une optique ionique electrostatique. L'ensemble (source+optique) a ete couple a la colonne electronique d'un meb et une electronique de commande a ete mise au point. Finalement une etude comparative des effets du debit de fluence, entre irradiation sur accelerateur et par source d'ions liquide-metal, a ete menee. A fort debit de fluence des conductivites de 40 s/cm ont ete obtenues sur du polyimide, sans que le polymere ne soit endommage macroscopiquement de facon genante