Étude et optimisation d’une étape industrielle de dépôt polysilicium dopé in situ au phosphore par LPCVD
Institution:
Rennes 1Disciplines:
Directors:
Abstract EN:
The manufacturing of microstructures with high aspect ratio (A. R. ) is becoming essential for passives components integration. One of the key steps in theses integrating processes is the filling of 3D structures, realized by an highly phosphorous in situ doped polysilicon (ISDP) by LPCVD method. This thesis is related to the study, the development and the optimization of an industrial ISDP stage through a process that integrates passives structures on 5 and 6 inches wafers. Industrials goals linked to this ISDP stage are following: Fill high AR structures with a good step coverage while realizing high precision resistances. In order to reach fixed goals, the work has been divided in two main parts. The first part concerns theoretical and experimental studies made in order to qualify and quantify most influent parameters of the stage. The second part describes the developing work made and specific improvement methodologies implemented on the ISDP stage.
Abstract FR:
La fabrication de microstructures à forts facteurs d’aspect s’impose pour l’intégration des composants électroniques passifs. Une des étapes clés de ces procédés d’intégration est le remplissage des structures 3D, réalisé par le dépôt d’une couche de polysilicium fortement dopé in situ (ISDP) par LPCVD. Cette thèse a permis l’étude, le développement et l’optimisation d’étapes de dépôt ISDP à travers un procédé d’intégration de structures passives. Les objectifs industriels liés à cette étape de dépôt ISDP sont les suivants : Remplir conformément des structures à fort facteur d’aspect tout en réalisant des résistances de précision. Pour atteindre les objectifs fixés, ces travaux ont été abordés suivant deux axes principaux. Le premier axe concerne les études théoriques et expérimentales visant à qualifier et à quantifier les paramètres influents de l’étape. Le second axe décrit les travaux de développement réalisés ainsi que la mise en place de méthodologies spécifiques d’amélioration.