Abstract FR:

Dans ce travail nous allons etudier le chauffage d'une plaquette de silicium dopee par implantation ionique et essayer d'homogeneiser la repartition de l'energie electromagnetique a la surface de la charge. L'outil de mesure utilise est une camera infrarouge a detecteur pyroelectrique. Les programmes de traitement et d'acquisition du signal video ont egalement fait partie de ce travail. Une etude theorique de l'applicateur utilise a ete realisee par le moyen de la methode des elements finis.