Abstract FR:

Ce document présente l'étude, la réalisation et le test des trois composants nécessaires pour l'obtention d'un microrobot alimenté à distance par couplage électro-magnétique à 13,56 MHz : à savoir une antenne à fort coefficient de qualité; un circuit intégré de commande ; et un réseau d'actionneurs électrostatiques distribués. L'antenne est obtenue à l'aide d'une électrolyse d'or de 30 [micron] sur un substrat isolant constitué de résine SU8 afin de s'affranchir des pertes par insertion et d'alléger la charge supportée par le robot. Les actionneurs électrostatiques, dont les dimensions font 150×60×9 [micron]3, sont réalisés en polysilicium, et réalisent un système de déplacement à cils. Le circuit intégré a été réalisé dans la technologie I2T100 de chez AMI Semiconductor. Il permet d'actionner de façon asynchrone quatre sorties avec des tensions pouvant aller jusquà 100 V, grâce à une information transmise par modulation d'amplitude de la porteuse à 13,56 MHz. Spécialement dédié pour un actionnement électrostatique, il permet d'alterner chaque commande sur deux électrodes afin d'éviter la stiction des dispositifs par accumulation de charges électriques.