Abstract FR:

Cette thèse a pour but d'exploiter au mieux les technologies MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) pour la conception, la fabrication et la caractérisation de capteurs pariétaux indispensables pour le contrôle des écoulements en mécanique des fluides. Les trois grandeurs physiques intéressantes sont: le frottement à la paroi, les fluctuations de pression et de température. Les applications visées se situent au niveau du contrôle actif de la turbulence. Le but est d'agir localement et rapidement sur les points de formation de turbulence et d'en limiter la propagation. En déterminant ces points de turbulence, et en appliquant l'action appropriée, on peut diminuer la traînée pour les avions, et par conséquent, leur consommation. La faisabilité d'un tel contrôle exige la disponibilité de micro actionneurs, mais surtout de capteurs susceptibles d'être installés à la paroi, de ne pas perturber l'écoulement et de renseigner ponctuellement et instantanément sur l'état de l'écoulement. Nous présentons une technologie innovante " multi-capteurs mono-puce " basée sur le collage de plaques SOI. Après avoir rappelé quelques de bases de microfluidique, un cahier des charges des différents capteurs est établi, puis des simulations numériques sont effectuées afin d'optimiser les géométries des capteurs. Une grande partie de ce travail est consacrée au développement et réalisation technologique. Pour finir, des mesures de caractérisations électriques ont été menées pour les capteurs de frottement pariétal.