Abstract FR:

Les scanners optiques sont très utilisés dans des applications telles que l'affichage, la microscopie confocale, les capteurs, ou les réseaux optiques. Les micromiroirs ont la capacité de répondre aux besoins en termes de résolution, de vitesse, de taille, de consommation et de coût. Nous proposons une modélisation optique et mécanique des micromiroirs mobiles sur un axe en torsion, ainsi qu'une discussion sur leur optimisation pour l'obtention de définitions élevées. Une utilisation pour l'affichage d'image requiert un balayage sur deux axes du faisceau lumineux. Pour cela, nous avons choisi d'assembler deux micro miroirs à un axe de façon à ce que le faisceau lumineux soit réfléchi successivement par les deux miroirs. Le balayage horizontal rapide est réalisé par un micromiroir en torsion fonctionnant en mode résonant et excité par des actionneurs piézoélectriques bimorphes. Chaque actionneur comporte une poutre ou une membrane flexible en silicium et une couche mince active en PZT. Les structures mécaniques sont gravées dans la couche de silicium superficielle d'un substrat SOI. Le balayage vertical de rafraîchissement de l'image est assuré par un micromiroir exploitant des actionneurs électrostatiques à fermeture de gap fonctionnant au contact, appelés actionneurs " zipping ". Ils génèrent une grande force, grâce au faible espacement entre leurs électrodes, ce qui les rend efficaces en régime statique ou quasi-statique. La fabrication a été réalisée par un procédé de report de couches SOI. Les résultats prometteurs obtenus avec les deux dispositifs permettent d'envisager la réalisation d'un système d'affichage de définition élevée, ou d'autres applications.