thesis
Propriétés physicochimiques et électriques du nitrure de silicium hydrogéné préparé par décomoposition plasma
Institution:
Université Joseph Fourier (Grenoble)Disciplines:
Directors:
Abstract EN:
Pas de résumé disponible.
Abstract FR:
Preparation de couches amorphes, de compositions differentes, par depot chimique en phase vapeur a 185c, assistee par un plasma a 50 khz. Caracterisation par spectrometrie en ir, visible et proche uv, photodeflexion thermique, rpe, mesures de capacite et de conductance en fonction de la tension, et mesures de conductivite en courant continu en champ faible. Informations sur la physicochimie, la structure electronique et des defauts structuraux responsables des effets de piegeage