thesis

Contribution à l'analyse cristallographique et mécanique des couches de molybdène préparées par pulvérisation cathodique magnétron

Defense date:

Jan. 1, 1989

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Institution:

Grenoble INPG

Disciplines:

Chemical engineering

Authors:

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Abstract EN:

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Abstract FR:

Elaboration par pulverisation cathodique magnetron en faisant varier la tension de polarisation negative appliquee au substrat, de revetements de molybdene presentant differents etats de contraintes de compression. Analyse, en fonction de l'evolution des contraintes, de l'evolution de la texture cristallographique et de la teneur en argon incorpore dans les couches