Abstract FR:

A l'aide de dispositifs de depot sous vide en phase vapeur, nous avons etudie l'effet d'un bombardement ionique sur des couches de carbone de type diamant en cours de croissance. Nous avons montre que cette assistance ionique a la croissance induit d'importantes modifications des caracteristiques des revetements (composition chimique, indice de refraction complexe, durete et contrainte mecanique) et de l'interface couche-substrat. L'evolution de la masse volumique des depots avec les parametres du bombardement ionique (densite de courant, energie et masse des ions) est presentee. Un modele de croissance des films issu de simulations numeriques et base sur des deplacements selectifs d'atomes de carbone en hybridation sp#2 explique ces resultats. Une representation de la microstructure des depots deduite d'analyses par microscopie electronique en transmission et spectroscopie raman est proposee. Ce modele est coherent avec une evolution du materiau sous bombardement ionique gouvernee par des deplacements selectifs d'atomes