Abstract FR:

Dans un contexte economique fortement concurrentiel, les societes productrices de systemes surveillent les evolutions technologiques susceptibles de diminuer leurs couts. En particulier, les recents progres des techniques en microelectronique, permettent aujourd'hui la fabrication a faible cout de systemes evolues qui associent sur une seule et meme puce, des composants electromecaniques sensoriels et des composants electroniques de traitement. La technique de gravure du substrat par la face avant (fsbm) a ete recemment ouverte aux concepteurs pour la fabrication de microstructures en compatibilite avec le procede microelectronique cmos. A ce jour, peu d'applications utilisant la deformation de structures realisees a l'aide cette technologie ont ete identifiees. L'objectif des travaux presentes dans cette these est le developpement de methodologies qui conduisent a la caracterisation de la technologie fsbm et a la conception de microsystemes electromecaniques. L'etude experimentale d'une structure de test appelee cantilever u-shape est presentee. Cette etude permet l'extraction des parametres mecaniques qui ne sont pas caracterises dans la cadre d'une utilisation traditionnelle de la technologie en microelectronique. Afin de proposer aux concepteurs de mems des outils de simulation, le cantilever fsbm fait l'objet d'une modelisation qui s'appuie sur une etude theorique de poutres composites. Le codage de ces modeles dans le langage vhdl analogique montre alors comment il est possible d'integrer les composants mecaniques dans le flot de conception microelectronique. L'utilisation conjointe des resultats de caracterisation et des modeles theoriques conduit finalement a l'evaluation de la structure u-shape excitee par la force de laplace en tant que capteur de champ magnetique. En perspective a ces travaux, des solutions alternatives pour la mesure du champ magnetique a l'aide de microstructures sont proposees.