Abstract FR:

La miniaturisation croissante des composants electroniques necessite le developpement de nouvelles techniques de caracterisation operationnelles en dessous du micrometre. Cette these est destinee au couplage d'un microscope a effet tunnel photonique pstm a un microscope a force atomique afm. Apres avoir presente les techniques du champ proche et discute les notions de resolution et de contraste, nous decrivons les modifications apportees au microscope afm (injection de lumiere, detection du signal tunnel) pour qu'il fonctionne simultanement en mode pstm. Des images synchrones afm/pstm pour plusieurs echantillons (defauts reveles sur gaas, reseau grave inp, plots d'or deposes sur inp, guide optique, diode laser) sont presentees et interpretees. Un algorithme de calcul du champ proche optique par la methode etablie du dyadique de green est decrit et implemente en langage c. Les resultats des calculs montrent l'effet de depolarisation revele par d'autres auteurs et aident a interpreter certaines images pstm obtenues.