Abstract FR:

Avec la miniaturisation des composants microelectroniques, la passivation est devenue une etape indispensable de la fabrication des dispositifs. Une etude bibliographique de la sulfuration de gaas, m'a permis de proposer un protocole de stabilisation de la surface de gasb base sur une sulfuration par voie humide. Des analyses de surface telles que les spectroscopies de photo-electrons ou d'electrons auger et la spectro-ellipsometrie apportent des informations significatives sur la qualite des surfaces traitees. Une etude comparative de contacts schottky realises apres differents traitements permet de correler l'amelioration des caracteristiques electriques des contacts schottky a la qualite des surfaces sulfurees. L'integration de la sulfuration dans la technologie de fabrication des photodetecteurs mesa a base de ga(al)sb a conduit a une nette diminution des courants de fuite generes en surface