Abstract FR:

La miniaturisation des composants microelectroniques a pousse les chercheurs a fabriquer des dispositifs de caracterisation a haute resolution dits microscopes a champ proche. Ces microscopes echappent a la loi d'abbe en approchant une sonde a quelques nanometres de la surface. Ce manuscrit est consacre a l'etude des interactions mecaniques et optiques entre une sonde afm et une surface de semi-conducteur en microscopie a effet tunnel optique pstm. Nous commencons par expliquer le principe de base ainsi que les possibilites de cet outil de caracterisation. Nous avons aussi mis au point une methode de mesure de la flexion des leviers qui soit compatible avec les mesures de transfert tunnel des photons et qui permette l'evaluation exacte de la position de la pointe par rapport a la surface examinee. Apres avoir decrit l'ensemble des dispositifs de mesures mis en oeuvre, nous presentons les resultats optiques obtenues avec des pointes dielectriques (silicium, carbone) et metallisees (aluminium). Ces mesures ont mis en evidence des alterations optiques liees a la presence d'une couche d'eau installee sur la surface. Lorsque la pointe est approchee de la surface, des forces d'interaction apparaissent entre elles et modifient le profil de cette couche au niveau de la pointe et nous obtenons ainsi un phenomene de maree nanometrique. Nous avons effectue d'autres mesures optiques et mecaniques a differents taux d'humidites pour identifier et evaluer les differentes forces qui s'exercent entre la pointe et la surface.