Abstract FR:

Outre les mesures de temperatures, les capteurs thermoelectriques permettent en combinant les effets peltier, joule et seebeck, les mesures de grandeurs physiques aussi diverses que les puissances hyperfrequences, les debits de gaz, les pressions dans les enceintes a vide. Il est egalement possible de mesurer des taux d'humidite. Les capteurs d'humidite qu'on s'est propose d'etudier sont originaux sur plusieurs points. Tout d'abord sur le principe de mesure lui-meme, qui consiste a mesurer le delai de condensation ou d'evaporation d'eau sur la surface froide d'un element peltier. Ensuite sur les principes de detection de cette condensation ou evaporation qui ont ete mise en uvre : detection optique et detection par thermocouples. On a fait une etude de faisabilite en utilisant des elements peltier massifs. Le developpement du traitement electronique a permis de realiser des prototypes de capteurs d'humidite, d'un detecteur de seuil d'humidite alimente sur batteries et d'etudier l'integration des capteurs dans un systeme de mesure avec micro-controleur. L'etude du depot par evaporation flash des alliages thermoelectriques bi#2te#3-bi#2se#3 type n et sb#2te#3-bi#2te#3 type p a porte sur les parametres de depot ainsi que sur les conditions de recuit afin d'optimiser les proprietes thermoelectriques des couches. On a alors realise des micromodules peltier en technologies couches minces qui permettent d'envisager des microcapteurs d'humidite integres.