thesis

Contribution à l'automatisation de la procédure de préparation et d'étude en ultra-vide de couches minces d'alliages

Defense date:

Jan. 1, 1986

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Institution:

Rouen

Disciplines:

Directors:

Abstract EN:

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Abstract FR:

Description de l'automatisation de la phase de la mise en vide d'un groupe a des pressions de l'ordre de 10**(-9) torr à partir d'un microordinateur et de nombreux circuits d'interface. Extension du projet global d'automatisation pour gérer toutes les phases du processus. Description de l'appareillage de mesures analogique ainsi que son interface avec le microordinateur