thesis

Etude physico-chimique de nitrures utilises en microelectronique et revetements durs : tin#x et nbn#x

Defense date:

Jan. 1, 1989

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Institution:

Rennes, INSA

Disciplines:

Applied sciences

Authors:

Directors:

Abstract EN:

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Abstract FR:

Etude des interactions titane-azote et niobium-azote. Methodes d'elaboration d'alliages tin#x massifs et de couches minces nbn#x et tin#x. Caracterisation physique et physico-chimique. Aspect cinetique